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| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 国产 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,能源,电子/电池,综合 |
产品介绍：
狭缝涂布设备 Slot-Die
多段式供液，涂布膜层均匀性高
通过3个激光传感器，实现快速自动对刀、防撞刀
搭配高精度注液泵
可采用钙钛矿溶剂验收
集成闪蒸和退火工艺，成膜环境和成膜过程高度可控
大面积样品退火受热均匀，保证相变一致性
快速去除湿膜中的残余溶剂，均匀的过饱和
变频调速罗茨泵实现抽气速率可控
P1、P2、P3飞秒、皮秒红外激光可选
高度定制化，膜面/玻璃面划刻可选，平顶光斑可选
精度高，具备逐线功能，线间距小
工艺成熟，边缘光洁，无火山环及毛边
多源共蒸，实现大面积镀膜
热场和温控精确
精确控制薄膜厚度
薄膜均匀性高
温控精度高
全自主工艺腔室设计，空间型和时间型可选，多片和单片可选
工艺稳定性高
自研氧化镍反应溅射控制器
ITO/NiOx靶采用圆柱靶，靶材利用率高
靶-基距可调，低损伤TCO导电膜镀膜
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